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  EE-SPY801/802 晶圆片托架落座传感器
晶圆片托架落座传感器
 
薄片载体的落座检测
■依靠与导槽并用，设定落座位置。
■晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。
■在独特的光学结构，几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
■采用强抗外部干扰光的变调光方式。
■电线使用净化电线(无粉尘)。

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