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  Z5FM-200 在线膜测量仪

  在线膜测量仪

   在线•全数检查/计测的提案。
 实现在线计测的独特的光学系数。
 采用LED光源,减轻维修负担。
 根据设置条件可选择光纤头。
 配置“膜厚计测”、“膜厚+光学常数(屈折率,吸收系数)同时计测”2种计测方法。
 通过易懂的GUI,使操作更简单。
 在线计测中必不可少的触发模式的充实。
 与装置•工程、CIM想配合的接口。

产品规格仅供参考,详细信息请于业务员联系。

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