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在线膜测量仪
在线•全数检查/计测的提案。 实现在线计测的独特的光学系数。 采用LED光源,减轻维修负担。 根据设置条件可选择光纤头。 配置“膜厚计测”、“膜厚+光学常数(屈折率,吸收系数)同时计测”2种计测方法。 通过易懂的GUI,使操作更简单。 在线计测中必不可少的触发模式的充实。 与装置•工程、CIM想配合的接口。
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